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无尘车间安全操作须知

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(1)任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,或是镊子掉落地上,必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。

(2)芯片清洗后进行下一程序前,若被手指碰触过,必须重新清洗。

(3)把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新清洗,并立即更换干净的镊子使用。

2.芯片必须放置盒中,盖起来存放于规定位置,尽可能不让它暴露。

3.避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请特别注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮气枪喷之。

4.从铁弗龙(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等载具(Carrier)上,取出芯片时,必须垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。

5.芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

6.操作时,不论是否戴上手套,手绝不能放进清洗水槽。

7.使用化学站或烤箱处理芯片时,务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。

8.摆置芯片于石英舟时,若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片,然后再进氧化炉。

9.请勿触摸芯片盒内部,如被碰触或有碎芯片污染,必须重作清洗。

10.手套,废纸及其它杂碎东西,请勿留置于操作台,手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。

11.非经指示,绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

12.奇怪的味道或反应异常的溶液,颜色,声响等请即通知相关人员。

13.仪器因操作错误而有任何损坏时,务必立刻告知负责人员或老师。

14.芯片盒进出无尘室须保持干净,并以保鲜膜封装,违者不得进入。

15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录,一般纸张与铅笔不得携入。